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線光譜共焦位移傳感器
原理:將原來點光譜共焦的點光源擴展為線光源。并通過高速的數據處理,在反饋的線光譜信號上采樣多個點信號組成數據序列,用點云處理的方式可以得到被測物的高精度掃描輪廓并輸每個位置的高精度高度數據。特點1:立儀科技開發的線光譜共焦傳感器與市面上基于三角法的線光譜原理不同,三角法原理線光譜對狹縫,深孔等特征無法測量,而立儀科技開發的線光譜特性則與點光譜相同,垂直向下測量,狹縫,深孔等特征依然可測特點2:
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線激光位移傳感器3D工業視覺傳感器
新型LS系列3D工業視覺傳感器基于激光三角反射原理,適用于各種工業應用?;谧灾餮邪l的CMOS成像芯片,掃描速度快,可提供出色的圖像效果和可靠的測量結果。LS系列3D視覺傳感器易于使用并且可以輕松集成,出廠已校準,是系統集成商的高性價比選擇方案。
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HM5-160全自動檢測系統
1、高速度、高精度測量系統。 2、最大160mm*160mm范圍自動測量。 3、重復測量精度≦0.5μm。 4、適用高反光、高透光材料。 5、數據重復測量的一致性。 6、測量膜厚、線寬、平面度等。
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HM-S100半自動檢測系統
1、非接觸光學測量系統。 2、應對各種材質,重復測量精度≦0.5μm。 3、高速采樣,最快周期20μs。 4、強大的CPK統計功能。 5、吸附系統及高精度位移系統。 6、測量輪廓、斷差、槽深、高度等。
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白光干涉儀
該產品由膜厚儀主機、上位機 PC 軟件、光纖組成。用一束準單色平行光照射多層薄膜, 光波會在第 1 到 n 層之間來回多次折射、反射進而形成多個相干光束。這些相干光束進行相 干疊加后,攜帶多層薄膜的相干信號并沿原路返回。不同波長的準單色光照射薄膜后,攜帶 的干涉信號不一樣。如果用一束含有多種波長的準單色光照射薄膜后,提取各個波段的干涉 信號,通過 OCD 自主知識產權的算法進行反演計算,便可獲得每一層薄膜材料...